慧沼一作惠沼(或惠照)，俗姓刘名玄，祖籍彭城，后迁淄州，因此他亦称淄州沼。十五岁时，高宗为新生儿子(即睿宗)祈福度僧，他就此时受度出家。
相传他曾亲近过玄奘。青年时已博通经藏，讲《法华》、《般若》、《涅槃》等经。咸亨三年(６７２)始从窥基、普光受学。慧解超群，被称为‘山东一遍照’。他的唯识、因明诸疏，大概即在此时禀受师说渐次写成。窥基去世(６８２年)后，慧沼游行诸郡，讲经二十余年，同时写成了《金刚般若》等经疏，和《慧日论》、《了义灯》等著作。
慧沼晚年又在义净译场任证义大德。唐中宗神龙三年(７０７)曾召义净入宫同译经沙门九旬坐夏，他也参加在内(见《开元录》)。景龙四年(７１０)义净于大荐福寺译《浴像功德》等经，《根本说一切有部苾刍尼毗奈耶》等律，《唯识宝生》等论，慧沼与文纲、胜庄等同任证义。景云二年(７１１)义净于大荐福寺译《称赞如来功德神咒》等经，和《能断般若论颂》等论，亦慧沼证义。慧沼所疏《金光明最胜王经》，即是义净的新译本。他晚年的思想受到义净的一些影响。
慧沼于开元二年(７１４)十二月十七日去世(见李邕碑文后日本释善珠记)，寿六十四岁。他生平曾被驿征三次，诏讲二次，补纲维大德六次，敕译经论四次。他是慈恩宗的嫡传，或许因此受到当时朝廷的重视。
慧沼的著作现存有十种，共四十卷：一、《金光明最胜王经疏》十卷，经文是武周长安二年(７０２)义净译。疏文也同时写出，发挥了三乘五性的宗义，并订正以真如为三身正因的旧说。二、《十一面神咒心经义疏》一卷，经文玄奘译。三、《法华玄赞义决》一卷，释窥基著《法华玄赞》中难义。四、《成唯识论了义灯》十四卷，与窥基的《成唯识论枢要》、智周的《成唯识论演秘》总称唯识三疏，多分祖述窥基学说加以阐明补充；对圆测、道证等诸家异说一一批判。五、《因明入正理论义纂要》一卷。六、《因明入正理论义断》二卷。七、《因明入正理论续疏》，慧沼自跋云：‘于师曾获半珠，缘阙未蒙全宝’，这是因窥基著《因明入正理论疏》到了喻过部分就绝笔了，慧沼接著做了下文的注解，所以称为《续疏》。八、《大乘法苑义林章补阙》八卷，现存卷四、卷七、卷八。九、《能显中边慧日论》四卷，略名《慧日论》。十、《劝发菩提心集》三卷，第二卷中有受菩萨戒仪轨。
此外，慧沼的著作佚失了的还有《能断金刚般若经疏》、《发菩提心论疏》等十种二十九卷。
玄奘所传的瑜伽唯识学，由窥基的传述，建立了以三乘五性说为主的慈恩宗，又由日沙门道昭、智通、智凤、玄昉等传衍至日本而建立了日本的法相宗。慈恩宗窥基是奠定者，智周为传播者，而作为他们中间枢纽的就是慧沼。玄奘的学说虽然通过窥基等诸大弟子记录下来，但有许多微言奥义未见得尽能一一笔之于书。同时玄奘在世时，门下对于教理的见解本来就不一致，作为继承慈恩嫡传的慧沼，就担当了力排异说的任务。
慧沼的著作充满了追求真理的精神，他为了对真理的探讨，做到了‘当仁不让于师’的地步。他不但对于圆测、法宝等前辈没有随便妥协的态度；就是对于窥基的主张，有怀疑的地方也要求得一个是非；甚至对于玄奘的教授，也要透过思考才接受。用这种服从真理的精神来治学，是值得后人效法的。由于他的努力，进一步充实并推进了窥基的学说。在西明与慈恩的论争中，慈恩之能得到最后胜利，慧沼起了决定性的作用。
慧沼的弟子最著名的首推智周，他从慧沼学，于西元７０３年和７０６年，先后有日本僧人智凤、玄昉等来从他受学，回国弘传。智周的著作，很多是辅翼或解释慧沼的著述的。义忠、道巘、道邑、如理等当时也很出名。此外，碑序所载，还有惠冲微、惠胜说、耶含朏、惠日、福林、无著、惠融、惠祥、惠光、惠灯、惠嵩、惠先等。(隆 莲)